请选择一个单位... 中华人民共和国科技部 中国科学院 中科院仪器共享平台 中国科学院半导体研究所 中国科学院微电子研究所 中国科学院电工研究所 中国科学院国家天文台
仪器名称：热真空试验系统E
生产厂家：
型号:
投入使用时间:2010-12-31
存放地点:
仪器用途:
真空试验设备
性能指标:
