立式激光干涉仪

一、产品简介

    面向光学平行平板、光学窗口等超精密光学元件面形检测需求，基于短相干激光光源与全视场外差移相技术，实现平面光学元件面形、光学系统波前等高精度测量，用于平面光学计量、集成电路制造、光学超精密检测等领域。

二、主要技术指标：
   1.移相频率：2Hz/5Hz/10Hz/20Hz（根据环境振动要求选配）；
   2.测量口径：100mm/150mm/300mm等系列；
   3.平面面形测量精度PV：优于λ/20；
   4.RMS简单重复性：优于λ/10000；
   5.RMS波前重复性：优于λ/1800。

三、如需了解更多信息，可联系：张老师，010-82177821，kty11b@aircas.ac.cn。