三维显微激光测振仪

一、产品简介
   面向微机电系统器件、集成电路电子元器件和生物医学微纳结构的三维动态特性测量需求，采用非接触式激光多普勒干涉技术，结合高分辨率显微物镜，实现微结构的三维速度、位移、加速度和振动谱等测量。

二、主要功能技术指标：
   1.具有三维振动速度位移加速度测量功能；
   2.测量频率范围：DC~25MHz，分15档;
   3.最大测量速度：±10m/s，分13档；
   4.速度分辨率：5nm/s/Hz^1/2@1kHz；
   5.位移测量范围：±500nm，分6档；
   6.位移分辨率：30fm/Hz^1/2。

三、如需了解更多信息，可联系：张老师，010-82177821，kty11b@aircas.ac.cn。